T-I MAX HF -kaasuanalysaattori

Kaasuanalysaattori ilmassa olevien fluorivety (HF) molekyyliepäpuhtauksien (Airborne Molecular Contaminants AMC) havaitsemiseen ja jatkuvaan valvontaan puhdastiloissa.

Ominaisuudet

  • Herkkä absoluuttinen CRDS-mittaustekniikka
  • Pitoisuuden mittaus ppb-tarkkuudella sekä erittäin stabiililla lukemalla ja nopealla vasteajalla.
  • Kalibrointi jäljitettävissä maailman johtaviin vertailulaboratorioihin

Käyttökohteet

  • Puolijohteet
  • Puhdastilat, puhdashuoneet
  • Ilman molekyyliepäpuhtauksien mittaus
  • Tutkimus ja kehitys