Kaasuanalysaattori ilmassa olevien fluorivety (HF) molekyyliepäpuhtauksien (Airborne Molecular Contaminants AMC) havaitsemiseen ja jatkuvaan valvontaan puhdastiloissa.
Ominaisuudet
- Herkkä absoluuttinen CRDS-mittaustekniikka
- Pitoisuuden mittaus ppb-tarkkuudella sekä erittäin stabiililla lukemalla ja nopealla vasteajalla.
- Kalibrointi jäljitettävissä maailman johtaviin vertailulaboratorioihin
Käyttökohteet
- Puolijohteet
- Puhdastilat, puhdashuoneet
- Ilman molekyyliepäpuhtauksien mittaus
- Tutkimus ja kehitys