Kaasuanalysaattori ilmassa olevien ammoniakki (NH3) molekyyliepäpuhtauksien (Airborne Molecular Contaminants AMC) havaitsemiseen ja jatkuvaan valvontaan puhdastiloissa.
Ominaisuudet
• Herkkä absoluuttinen CRDS-mittaustekniikka
• pitoisuuden mittaus ppb-tarkkuudella sekä erittäin stabiililla lukemalla ja nopealla vasteajalla.
• kalibrointi jäljitettävissä maailman johtaviin vertailulaboratorioihin
Käyttökohteet
- puolijohteet
- puhdastilat, puhdashuoneet
- Ilman molekyyliepäpuhtauksien mittaus
- Tutkimus ja kehitys